● 集中精力于28nm工艺
为在技术方面有所提高,GLOBALFOUNDRIES将集中发展28nm工艺。相比40nm工艺 ,28nm 的Gate First(先栅极)可使集成密度增加两倍,速度提升50%,转换器和能源皆减少50%。此技术还将继续结合HKMG(High-K绝缘层+金属栅极)。28nm工艺有望在2011年第二季度对外进行测试。
另一方面,GLOBALFOUNDRIES将于2011年期间大规模量产32nm工艺。AMD的Llano将采用GLOBALFOUNDRIES 32nm工艺制造,Llano是拥有四核x86 CPU、支持DirectX 11且集成了GPU的APU产品。此外,三星将首次采用High-K金属栅极技术发布SoC产品。
最近,28nm工艺受到了越来越多的关注,移动产品市场的不断扩大是其中的一个重要因素。Grose表示:“近几年,3G网络用户急剧增长,网络视频的普及增加了对通信量的需求。要想在移动环境中实现网络视频功能,就必须保证高性能、低功耗且电池寿命长等特性,而28nm工艺可实现客户期待的这些特性。”
而且GLOBALFOUNDRIES还将与Common Platform Alliance成员企业IBM、三星、意法半导体合作,在2011年期间实现28nm工艺制造工厂同步的目标。采用28nm工艺的客户将可获得大批量且灵活生产的益处。
此外,预计移动设备未来还将大幅增长,GLOBALFOUNDRIES为此加强了与ARM的战略合作,推出了业界首颗28nm 工艺的Cortex-A9处理器。其功耗最多可减少30%,待机模式下的电池寿命可延长一倍,且多任务处理和图形性能也得到了大幅度的提升。此外,基于Cortex-A9架构的SoC处理器也正处开发中,其双核宏的主频范围为10MHz~2.5GHz。
● 2011年扩大投资 发展20nmEUV光刻技术
GLOBALFOUNDRIES 2011年的计划投资金额将增至54亿美元,相当于2010年的两倍。其投资重点将放在200mm晶圆生产线,计划致力于MEMS元件(压力传感器和加速度传感器及回速器)的生产。投资还计划用于前面所述的,扩大Fab 1工厂产能、扩建Fab 8以及实现阿布扎比技术集群区计划。
在开发实用的28nm工艺同时,GLOBALFOUNDRIES还将着手22/20nm工艺的基础研究。此外,28nm工艺采用了Gate First技术,而20nm工艺将采用Gate Last(后栅极)技术结合HKMG(High-K绝缘层+金属栅极)的方式。
在 MEMS方面,市场目前主要以150mm晶圆生产为主,通过采用200mm晶圆可满足未来的大量需求。大型无晶圆厂MEMS企业对此也可能非常期待。
GLOBALFOUNDRIES还将研发先进的封装技术,改善3D堆叠技术成本并提高其性能。
随着半导体制造业内重要的光刻技术日益微细化,GLOBALFOUNDRIES将进一步研发EUV(Extreme Ultraviolet:超紫外)光刻技术,Fab 8工厂计划在2012年下半年导入此技术,2014年到2015年期间开始投入量产。此导入方式省略了前期开发的过程,可达到早期直接使用的目的。